アンリツ株式会社（社長 濱田 宏一）は、韓国の代表的な研究機関である韓国電子通信研究院（ETRI）が推進するGaN MMICを用いた高周波デバイスの特性評価および設計検証において、当社の広帯域ベクトルネットワークアナライザVectorStar(TM) ME7838Gが採用されたことをお知らせします。ETRIはME7838Gの導入により、ミリ波・サブテラヘルツ帯向け評価基盤を構築し、測定再現性の向上と信頼性の高い設計検証を実現しました。

次世代通信技術の進展に伴い、評価対象となる周波数領域はミリ波・サブテラヘルツ帯へと広がっています。ETRIは、GaN MMICを用いたデバイス開発の設計精度および性能予測の向上を目的として、動作周波数帯に加え、高調波領域までを含めた広帯域での特性評価を行っています。
このような高周波デバイスの特性評価では、パッケージや実装の影響を排除し、デバイス特性を評価するオンウェハ測定が広く利用されています。一方、ミリ波・サブテラヘルツ帯のオンウェハ測定では、プローブの接触状態や測定系の影響により測定ばらつきが生じやすく、設計データと実測データを高い精度で比較・検証するための評価基盤の構築が課題となっていました。

こうした課題に対応するため、ETRIはME7838Gを導入しました。ME7838Gは、最大220 GHzまでのシングルスイープ測定に対応しており、ミリ波からサブテラヘルツ帯までを単一プラットフォーム上で評価できます。広帯域評価を単一の測定系で行えることから、周波数帯域ごとに測定系を切り替えることなく、ミリ波からサブテラヘルツ帯まで一貫した測定条件でオンウェハ測定を実施できる評価基盤を構築しました。これにより、広帯域で取得した測定データを設計データと一貫した条件かつ高い精度で比較・解析できる環境を実現しました。

アンリツは、6Gや次世代衛星通信に向けた高周波デバイス開発において、広帯域での特性評価と高い測定再現性を両立する計測技術の重要性が今後さらに高まると考えています。今後も、計測技術を通じて、お客さまの半導体研究開発および評価を支援していきます。

なお、本事例の詳細は、アンリツ公式Webサイトに掲載しているPDF「ファウンドリ品質を支える高周波評価基盤を構築」でご覧いただけます。
本事例では、ETRIが構築した高周波評価基盤がGaN MMICの設計検証や性能予測の精度向上にどのように貢献しているかを紹介しています。
韓国電子通信研究院（ETRI）について
ETRI（Electronics and Telecommunications Research Institute）は、情報通信技術（ICT）、エレクトロニクス、半導体などの分野における韓国有数の研究機関です。6Gをはじめとする次世代通信技術や先端半導体技術の研究開発を推進しています。

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